液态光致抗蚀剂图形转移之显影_襄阳市百盾防护涂层材料有限公司

　　显影即去掉（溶解掉）未感光的非图形部分湿膜，留下已感光硬化的图形部分。其方法一般有手工显影和机器喷淋显影。

　　该工序工作条件同涂覆工序。

　　机器显影配方及工艺规范 
　　 Na2CO3　　　　0.8～1.2%
　　消泡剂　　　0.1%
　　温　度　　　 30±2℃
　　显影时间　　 40±10秒
　　喷淋压力　　1.5～3kg/cm2

　　操作时显像点（ Breok Point Control)控制在1/3～1/2处。为保证显影质量，必须控制显影液浓度、温度以及显影时间在适当的操作范围内。温度太高（35℃以上）或显影时间太长（超过90秒以上），会造成皮膜质量、硬度和耐化学腐蚀性降低。

　　显影后有余胶产生，大多与工艺参数有关，主要有以下几种可能：

①显影温度不够；
　　 ②Na2CO3浓度偏低；
　　 ③喷淋压力小；
　　 ④传送速度较快，显影不彻底；
　　 ⑤曝光过度；
　　 ⑥叠板。